COMPACT-MW
COMPACT-MWCOMPACT-MW

COMPACT-MW

Kompaktit järjestelmät, minimaalinen jalanjälki - Korkeat plasman tiheydet lyhyille prosessiajoille - Optimoitu homogeenisuus plasma-arrayn kautta, jossa on 2-ulotteinen kaasunsyöttöjärjestelmä - Korkea kuormituskapasiteetti
Vastaavat tuotteet
1/8
Inline-järjestelmät
Inline-järjestelmät
AURION tarjoaa erityisesti tarpeisiinne räätälöityjä monikammioratkaisuja, joissa substraattisiirto tapahtuu tyhjiössä. Saatavilla olevat kokoonpanot...
DE-63500 Seligenstadt
Plasmajärjestelmät
Plasmajärjestelmät
Kattavat järjestelmät pintojen käsittelyyn ja pinnoittamiseen plasmaprosessien avulla Aktivointi, puhdistus ja etsaus ilmakehän paineplasmalla, reakt...
DE-63500 Seligenstadt
Klusterjärjestelmät
Klusterjärjestelmät
AURION tarjoaa monikammiojärjestelmiä, jotka on räätälöity tarpeisiisi substraatin käsittelyyn tyhjiössä. Saatavilla olevat kokoonpanot sisältävät la...
DE-63500 Seligenstadt
PIKNOS 30 MW
PIKNOS 30 MW
Max. 4 kaasunvirtauksen säätimiä, joiden virtausnopeus on enintään 500 sccm per säädin, verkkoyhteys: 3/N/PE AC 400/230V, kammiotilavuus: 30 l, mitat ...
DE-63500 Seligenstadt
HF-järjestelmät hiukkaskiihdyttimille (ACCELOS-SARJA)
HF-järjestelmät hiukkaskiihdyttimille (ACCELOS-SARJA)
Säteiden manipulointi hiukkaskiihdyttimissä (esim. ryhmän puristus), täysin integroidut järjestelmät, jotka koostuvat kammioista, sädeputkista ja RF-v...
DE-63500 Seligenstadt
KIVOS-konsepti: Plasmasysteemit
KIVOS-konsepti: Plasmasysteemit
KIVOS on erittäin joustava, modulaarinen konsepti plasmasysteemeille. Nämä järjestelmät ovat käytettävissä monilla eri sovellusalueilla, kuten esimer...
DE-63500 Seligenstadt
RIE-ALUE: CYLOS 160/RIE
RIE-ALUE: CYLOS 160/RIE
Tyhjöastiat valittavissa alumiinista tai ruostumattomasta teräksestä, tyhjöpumput korroosiota kestävänä kaasutiiviinä versiona, mukaan lukien öljysumu...
DE-63500 Seligenstadt