Plasma-pintakäsittely | Pico - Alhaisen Paineen Plasma-pintakäsittelyjärjestelmä, Plasma-puhdistus

Diener electronicin plasma-asennukset ovat jo pitkään vakiinnuttaneet asemansa eri teollisuudenaloilla. Pico-matalapaineplasma-asennuksella panostat moderniin ja kestävämpään kylmäplasmatekniikkaan tyhjiössä. Tämän plasmajärjestelmän 5-8 litran kammiovolyymi tarjoaa riittävästi tilaa laboratorioille ja sarjatuotannolle. Matalapaineplasma käsittely on todistettu tekniikka hienoille hallituille puhdistuksille, tarttuvuuden parantamiselle (aktivoiminen ja kaiverrus) sekä ohutkalvojen pinnoittamiselle substraattipinnoille. Plasma syntyy käyttämällä korkeataajuusjännitteitä tyhjiökammiossa. Käsittelykaasu, joka sinne johdetaan, ionisoituu. Sovellukset: - Orgaanisten jäämien puhdistus ilman VOC:ita - Aktivointi ennen maalausta, liimausta, kapselointia, ... - PTFE:n, valokemiallisen lakan, oksidikerrosten kaiverrus, ... Mitat (pöytämalli): 310 - 560 mm x 330 - 860 mm x 420 - 600 mm (PxKxS) Mitat (jalustamalli): 600 mm x 1700 mm x 800 mm (PxKxS) Tyhjiökammio (materiaali): Ruostumaton teräs, Alumiini, Kvartsilasi, Borosilikaattilasi Tyhjiökammio (mitat): noin L 160 mm x K 160 mm x S 200 - 300 mm; Ø 130 mm, S 200 - 320 mm Tyhjiökammio (tilavuus): noin 5 - 8 litraa Tyhjiökammio (sulkeminen): kansi, saranoitu ovi Kaasun syöttö: Neulaventtiilit / Massavirta-mittarit (Mass-Flow-Controller (MFCs)) Paineen mittaus: Pirani, Kapasitiivinen manometri (korroosiiville kaasuversioille) Generaattorit: 40 kHz; 100 kHz; 13,56 MHz; 2,45 GHz Elektrodit: Yksi tai useampi taso Ohjausjärjestelmät: Puoli-automaattinen, Kääntöpainike, Perus-PC, Täysi-PC Jännite: 230 V / 400 V / 50 - 60 Hz Tyhjiöpumput: Imuteho: 6 m³/h