Plasma-pintakäsittely | Tetra 150 - Alhaisen Paineen Plasma-pintakäsittelyjärjestelmä, Plasma-puhdistus

Diener electronicin plasma-asennukset ovat jo pitkään vakiinnuttaneet asemansa eri teollisuudenaloilla. Tetra 150 matalapaineplasma-asennuksella panostat moderniin ja kestävämpään kylmäplasmatekniikkaan tyhjiössä. Tämän plasmajärjestelmän noin 150 litran kammiovolyymi tarjoaa riittävästi tilaa sarjatuotantoon ja automaatioon. Matalapaineplasma käsittely on todistettu tekniikka hienopesuun, tartunnan parantamiseen (aktivoiminen ja kaiverrus) sekä ohutkalvojen pinnoittamiseen substraattipinnoilla. Plasma syntyy käyttämällä korkeataajuista jännitettä tyhjiökammiossa. Käsittelykaasu, joka sinne johdetaan, ionisoituu sitten. Sovellukset: - VOC-vapaa puhdistus orgaanisista jäämistä - Aktivointi ennen maalausta, liimausta, kapselointia, ... - PTFE:n, valokemiallisen lakan, oksidikerrosten kaiverrus, ... Mitat (pystyasennus - 19”): 600 mm x 2100 mm x 800 mm (PxKxL) Tyhjiökammio (materiaali): Ruostumaton teräs, Alumiini Tyhjiökammio (mitat): noin L 400 - 600 mm x K 400 - 600 mm x P 625 mm (PxKxL) - Pmax 3 m Tyhjiökammio (tilavuus): noin 150 litraa Tyhjiökammio (sulkeminen): Saranoitu ovi, automaattinen ovi Kaasun syöttö: Massavirta-anturit (Mass-Flow-Controller (MFCs)) Paineen mittaus: Pirani, kapasitiivinen manometri (korroosiiville kaasuversioille) Generaattorit: 80 kHz; 13,56 MHz; 2,45 GHz Elektrodit: Yksi tai useampi taso Ohjausjärjestelmät: Basic PC (Win.CE), Full PC (Win.10 IoT) Jännite: 400 V / 50 - 60 Hz Tyhjiöpumput: Yksi tai useampi taso