Jääkaasuanalysaattorit (RGA) ja Massaspektrometrit - MPH100F

AVAA PROSESSISI Vertaansa vailla oleva suorituskyky lisääntyneiden tuottojen ja maksimaalisen käyttöajan saavuttamiseksi Yhä kasvavat piikiekkojen hinnat ja valmiiden tuotteiden kysyntä tarkoittavat, että hylätyt kiekot maksavat enemmän kuin koskaan ennen. Siksi prosessisi ymmärtäminen ja vikojen valvonta on tullut paljon tärkeämmäksi puolijohdeteollisuuden valmistuskeskuksissa. Transpector MPH Kaasuanalyysijärjestelmä on suunniteltu avaamaan prosessisi alan johtavalla suorituskyvyllä kaikissa kaasuanalyysitarpeissasi, auttaen maksimoimaan sirujen tuottoja ja minimoimaan työkalujen käyttökatkoja. Yhdistettynä alhaisiin kokonaisomistuskustannuksiin ja korkeaan keskimääräiseen vikaantumisaikaan, Transpector MPH auttaa tulostasi enemmän kuin mikään muu jäännösgaasuanalysaattori (RGA) markkinoilla. INFICON on hyödyntänyt asiantuntemustaan kaasuanalyysin prosessinohjauslaitteissa luodakseen RGA:n, jolla on alan johtava tietojen keruunopeus, minimaalinen havaittava osapaine ja signaali-kohinasuhde. Kaikki tämä ilman, että... Anturin pituus: 14,3 cm Massa-alue: 100 amu Havaitsemistyyppi: FC Herkkkyys (FC): 6E-4 A/Torr Herkkkyys (EM): NA Min. havaittava osapaine (4): 3E-13 Torr Max. anturin käyttö lämpötila (FC): 200°C Max. anturin käyttö lämpötila (EM): NA Filamenttityyppivaihtoehto (1): Y2O3/Ir Filamenttityyppivaihtoehto (2): Volframi Max. tiedonsiirtonopeus per piste: 1,8 ms Max. käyttöpaine: 5E-4 Torr Max. kuumennustemperatuuri: 300 Virransyöttö: 20-30 VDC