Kompakti mikropositioija avoimeen ja suljettuun silmukkaan, jossa on 8, 18 tai 30 mm säätömatka
Mikropositioija MS30, jossa on 8, 18 tai 30 mm säätömatka avoimiin tai suljettuihin sovelluksiin. Saatavana seuraavissa versioissa: standardi, korkeapaine (10^-6) tai ultrakorkeapaine (10^-9 mbar).
Paino (avoin silmukka): 32 g, 38 g tai 54 g
Askelväli avoimessa silmukassa (CF30-ohjaimella): noin 10 nm
Toistotarkkuus suljetussa silmukassa: jopa 50 nm