Prior XY-pöydän sijoitusjärjestelmä, jossa on 300 x 300 mm liike

H112 voi helposti käsitellä 12 tuuman waferia (300 mm) ja se toimii monien robottikäsivarren wafer-latauslaitteiden kanssa. H112-pöytä on ihanteellinen erilaisille puolijohdewaferien, fotomaskien, litteiden näyttöjen ja piirilevyjen skannaamiseen. H112 voi helposti käsitellä 12 tuuman waferia (300 mm) ja se toimii monien robottikäsivarren wafer-latauslaitteiden kanssa. Lisäksi H112:tä voidaan käyttää läpivalaisusovelluksissa, joissa on läpivalaisualue 250 mm x 250 mm. Erityisominaisuudet: - Sopii useimpiin yleisiin merkkimikroskooppeihin - 1µm tai parempi toistettavuus - Valinnaiset 100nm-lineaariskaalat tarjoavat korkeimman saatavilla olevan resoluution - Laaja valikoima waferpidikkeitä - 302 mm x 302 mm (12″x12″) liike