Varaosat sisältävät esimerkiksi kammiot, filamentit, kaarirakoja, pidikkeitä ja monia muita osia. Varaosat on valmistettu grafiitista, molybdeenistä, volframista ja seoksista. Ne ovat äärimmäisen kestäviä ja pitkäikäisiä, mikä säästää rahaa ja huoltokustannuksia.
100 tai enemmän Planseen komponenttia on käytössä jokaisessa säteessä. Ne varmistavat, että ionit tuotetaan tehokkaasti ja ohjataan tarkasti ja puhtaasti säteellä waferille. Puolijohdeteollisuuden asiakkaille Planseen varaosat ovat yhä enemmän kuin pelkkiä varaosia. Käyttövalmistajan alkuperäisiä varaosia lähtökohtana, Plansee optimoi geometrioita ja materiaalikoostumuksia. Hyödyt sinulle:
— Yksinkertaistettu komponenttien asennus ja poistaminen
— Pidemmät käyttöiät
— Alhaisemmat puhdistuskustannukset
— Vähentynyt huoltotyö
— Vähentynyt seisokkiaika