Tuotteet hakusanalla maan tutka (2)
RF Havaitsemisteknologia
ADC100-järjestelmä yhdistetään tasavirtageneraattoriin plazmakaarien havaitsemiseksi reaaliajassa. Tämä mahdollistaa wafer-prosessin keskeyttämisen ja insinöörien ilmoittamisen mahdollisista laitteisto- tai tuotevaurioista.