... profilointiin on ainutlaatuinen.
3D-optiset mikroskoopit kuvaavat pintojen kolmiulotteista topografiaa. Ensinnäkin ne tallentavat optisesti useita pinnan kuvia. Tämän jälkeen mikroskooppi kokoaa kuvat XYZ-akselin mukaan. Lopuksi ne kvantifioivat tiedot lasketakseen karheuden, askelman korkeuden, kalvon paksuuden, kaarevuuden, kaaren ja viat. Kaikki tämä ei ole mahdollista perinteisellä 2D-optisella...