...ALD (Atomic Layer Deposition, suomeksi atomikerrospinnoitus) on prosessi, joka mahdollistaa ohuiden materiaalikerrosten tallettamisen tyhjössä kaasuesiasteiden avulla.
Käsiteltävät osat asetetaan tyhjökonetta.
Kun esiaste A on tuotu, se tallettuu käsiteltävien osien pinnalle, minkä jälkeen esiaste B tuodaan ja reagoi ensimmäisten talletettujen atomien kanssa muodostaen ensimmäisen...