Plasma-pintakäsittely | Nano - Alhaisen Paineen Plasma-pintakäsittelyjärjestelmä, Plasma-puhdistus

Diener electronicin plasma-asennukset ovat jo pitkään vakiinnuttaneet asemansa eri teollisuudenaloilla. Nano-matalapaineplasma-asennuksella panostat moderniin ja kestävämpään kylmäplasmatekniikkaan tyhjiössä. Tämän plasmajärjestelmän 18–24 litran kammiovolyymi tarjoaa riittävästi tilaa laboratorioille ja sarjatuotannolle. Matalapaineplasma käsittely on todistettu tekniikka hienon, hallitun puhdistuksen, tartunnan parantamisen (aktivoiminen ja kaiverrus) sekä ohutkalvojen pinnoittamiseen substraattipinnoilla. Plasma syntyy käyttämällä korkeataajuusjännitteitä tyhjiökammiossa. Käsittelykaasu, joka johdetaan sisään, ionisoituu sitten. Sovellukset: - Liuotinaineettomalla puhdistuksella orgaanisten jäämien poistamiseen. - Aktivointi ennen lakkausta, liimausta, kapselointia, ... - PTFE:n, valokemiallisen lakan, oksidikerrosten kaiverrus, ... Mitat (pöytämalli): 560 mm x 600 - 860 mm x 600 mm (PxKxS) Mitat (jalustamalli): 600 mm x 1700 mm x 800 mm (PxKxS) Tyhjiökammio (materiaali): Ruostumaton teräs, Alumiini, Kvartsilasi, Borosilikaattilasi Tyhjiökammio (mitat): noin P 240 mm x K 240 mm x S 400 - 420 mm, Ø 267 mm, S 400 - 420 mm Tyhjiökammio (tilavuus): noin 18 - 24 litraa Tyhjiökammio (sulkeminen): kansi, saranoitu ovi Kaasuvirtaus: Neulaventtiilit / Massavirta-anturit (Mass-Flow-Controller (MFCs)) Paineen mittaus: Pirani, Kapasitiivinen manometri (korroosiiville kaasuversioille) Generaattorit: 100 kHz; 80 kHz; 13,56 MHz; 2,45 GHz Elektrodit: Yksi tai useampi taso Ohjausjärjestelmät: Puoli-automaattinen, Kääntöpainike, Perus-PC, Täysi-PC Jännite: 230 V / 400 V / 50 - 60 Hz Tyhjiöpumput: Imuteho: 16 m³/h