Plasma Pintakäsittely | Zepto - Alhaisen Paineen Plasma Pintakäsittelyjärjestelmä, Plasma Puhdistus

Diener electronicin plasma-asennukset ovat jo pitkään vakiinnuttaneet asemansa eri teollisuudenaloilla. Zepto-matalapaineplasma-asennuksella panostat moderniin ja turvalliseen kylmäplasmatekniikkaan, joka on tulevaisuuden ratkaisu. Tämän plasmajärjestelmän noin 1 - 4 litran huoneen tilavuus tarjoaa riittävästi tilaa laboratorioille ja pienille tuotantosarjoille. Matalapaineplasmakäsittely on todistettu tekniikka hienoille, hallituille puhdistuksille, tarttuvuuden parantamiselle (aktivointi ja kaiverrus) sekä ohutkalvojen pinnoittamiselle substraattipinnoille. Plasma syntyy käyttämällä korkeataajuista jännitettä tyhjöhuoneessa. Käsittelykaasu, joka sinne johdetaan, ionisoituu. Sovellusalueet: - VOC-vapaa puhdistus orgaanisista jäämistä - Aktivointi ennen maalausta, liimausta, kapselointia, ... Mitat (pöytämalli): 269 - 423 mm x 300 - 443 mm x 176 - 290 mm (PxKxS) Tyhjöhuone (materiaali): Borosilikaattilasi (HP), RIE - Alumiinikupu, natrium-kalsiumlasi Tyhjöhuone (mitat): Ø 105 mm Syvyys 200/300 mm // Ø 190 mm Syvyys 60 mm // 135x120x65 mm Tyhjöhuone (tilavuus): noin 1 - 4 litraa Tyhjöhuone (sulkeminen): Kansi, saranoitu ovi Kaasuvirtaus: Neulaventtiilit, massavirtaohjaimet (MFC) Generaattorit: 100 kHz / 0 - 30 W Elektrodit: yksi pari elektrodit tyhjöhuoneen ulkopuolella Ohjausjärjestelmät: 2 - Tason valitsin Jännite: 230 V / 50 - 60 Hz Tyhjöpumput: Imuteho: noin 3 m3/h