INFICON SKY CDG025D -kapasitanssidiapragmimittarimallisto, joka koostuu erittäin tarkkoista lämpötilakorjatuista manometreista, on suunniteltu vakaaseen suorituskykyyn vaativissa valmistustyökalujen ympäristöissä. Kehittyneet digitaaliset elektroniikat parantavat mittarin suorituskykyä ja tarjoavat helppokäyttöisiä ominaisuuksia, kuten yhden painikkeen nollatoiminnon ja asetuspisteen säädön. Korroosionkestävä ultra-puhdas keraaminen anturi tarjoaa erinomaisen nollastabiilisuuden useiden miljoonien painejaksojen pitkällä käyttöiällä, mukaan lukien ilmakehän purkaukset. Ainulaatuinen anturisuojus (patentti vireillä) suojaa mittaria prosessisaastumiselta. Kestävä mekaaninen rakenne ja digitaaliset elektroniikat parantavat EMC-yhteensopivuutta, pitkäaikaista vakautta ja lämpötilakorjausta. CDG025D asettaa uusia standardeja nopealle vakaudelle virran kytkemisen jälkeen ja nopealle palautumiselle ilmakehän paineen altistumisesta.
(1) Epäsuoruus, hysteresi, toistettavuus 25 °C ympäristölämpötilassa ilman lämpötilavaikutuksia 2 tunnin käytön jälkeen.
(2)...
Tarkkuus (1): 0.2
nollassa: 0.005
alueella: 0.01
Resoluutio: 0.003
Maksimipaine: 400
Vasteaika (2): 30
Alin lukema: 0.01
Alin ehdotettu lukema: 0.05
Alin ehdotettu ohjauspaine: 0.5
Käyttö (ympäristö): +5 … +50
Kuivaus flangessa (4): ≤110
Varastointi: –40 … +65
Syöttöjännite: +14 … +30
Tehonkulutus: ≤1
Lähtösignaali (analoginen): 0 … +10
Suojausluokka: IP 30
CE-yhteensopivuus: EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL-sertifiointi: UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
Sähkökytkentä: D-Sub, 15-nastainen, uros
Asetuspisteiden määrä: 2 (SP1, SP2)
Reläkontaktit: 30
Tyhjöön altistuvat materiaalit: Alumiinioksidikeraami (AI 2O 3), ruostumaton teräs (AISI 316L (5))
I. tilavuus 1/2'' putki: 3.6 (0.22)
I. tilavuus DN 16 ISO KF: 3.6 (0.22)
I. tilavuus DN 16 CF-R: 3.6 (0.22)
I. tilavuus 8 VCR®: 3.6 (0.22)
Paino 1/2'' putki: 310
Paino DN 16 ISO KF: 330
Paino DN 16 CF-R: 350
Paino 8 VCR®: 370
INFICON SKY CDG025D -kapasitanssidiapragmimittarimallisto, joka on erittäin tarkka lämpötilakorjattu manometri, on suunniteltu vakaaseen suorituskykyy...
INFICON SKY CDG100D -painemittarit ovat paras valinta tarkkaan kokonaispaineen mittaamiseen ja hallintaan. CDG100D -mittarit ovat lämpötilan säätelemä...
INFICON Pirani Standard Gauge (PSG55x) hyödyntää, kuten sen sisarukset PCG55x ja PSG50x, kaikkein kehittyneintä digitaalista Pirani-teknologiaa. Kestä...
Puhdas vesi on elämän edellytys. Kun ympäristöön tuodaan yhä enemmän kemikaaleja, veden laadun heikkenemisen ja vastaavien terveysvaikutusten seurauks...
SQM-160 käyttää todistettua INFICON-kvartsikristallianturiteknologiaa mittaamaan nopeutta ja paksuutta ohutkalvojen deposiittiprosesseissa. Kaksi antu...
NOPEA, KENTTÄVALMIUSPROSESSIN VALVONTASYSTEEMI
Suorituskyky, Luotettavuus ja Monipuolisuus
INFICON Transpector CPM on ollut markkinoiden johtava jää...
INFICON tarjoaa edullisesti hinnoiteltuja ISO-KF-flange-läpäisyjä, joita on käytetty kaikissa standardi tyhjösovelluksissa ympäri maailmaa jo monien v...
ADC100-järjestelmä yhdistetään tasavirtageneraattoriin plazmakaarien havaitsemiseksi reaaliajassa. Tämä mahdollistaa wafer-prosessin keskeyttämisen ja...
Maksimaalinen vakaus vaativissa sovelluksissa
Standardi AT-leikkaus, 1 tuuman (25,4 mm) halkaisijaltaan oleva kide, jonka INFICON on kehittänyt, käyt...
Prosessien karakterisointiohjelmisto Transpector-kaasuanalyysijärjestelmälle
Yhden napsautuksen pääsy kahteen suosituimpaan RGA-toimintoon: valvonta-...
INFICON tarjoaa edullisesti hinnoiteltuja ISO-KF-flange-läpäisyjä, joita on käytetty kaikissa standardi tyhjösovelluksissa ympäri maailmaa jo monien v...
INFICON Gemini Inverted Magnetron -tyhjömittari on työjuhta kaikissa tyhjömittaus sovelluksissa (odottaa). Gemini yhdistää kaksi anturijärjestelmää yh...
INFICON SKY CDG025D -kapasitanssidiapragmimittarimallisto, joka on erittäin tarkka lämpötilakorjattu manometri, on suunniteltu vakaaseen suorituskykyy...
INFICON SKY CDG100D -painemittarit ovat paras valinta tarkkaan kokonaispaineen mittaamiseen ja hallintaan. CDG100D -mittarit ovat lämpötilan säätelemä...
INFICON Pirani Standard Gauge (PSG55x) hyödyntää, kuten sen sisarukset PCG55x ja PSG50x, kaikkein kehittyneintä digitaalista Pirani-teknologiaa. Kestä...
Puhdas vesi on elämän edellytys. Kun ympäristöön tuodaan yhä enemmän kemikaaleja, veden laadun heikkenemisen ja vastaavien terveysvaikutusten seurauks...
SQM-160 käyttää todistettua INFICON-kvartsikristallianturiteknologiaa mittaamaan nopeutta ja paksuutta ohutkalvojen deposiittiprosesseissa. Kaksi antu...
NOPEA, KENTTÄVALMIUSPROSESSIN VALVONTASYSTEEMI
Suorituskyky, Luotettavuus ja Monipuolisuus
INFICON Transpector CPM on ollut markkinoiden johtava jää...
INFICON tarjoaa edullisesti hinnoiteltuja ISO-KF-flange-läpäisyjä, joita on käytetty kaikissa standardi tyhjösovelluksissa ympäri maailmaa jo monien v...
ADC100-järjestelmä yhdistetään tasavirtageneraattoriin plazmakaarien havaitsemiseksi reaaliajassa. Tämä mahdollistaa wafer-prosessin keskeyttämisen ja...
Maksimaalinen vakaus vaativissa sovelluksissa
Standardi AT-leikkaus, 1 tuuman (25,4 mm) halkaisijaltaan oleva kide, jonka INFICON on kehittänyt, käyt...
Prosessien karakterisointiohjelmisto Transpector-kaasuanalyysijärjestelmälle
Yhden napsautuksen pääsy kahteen suosituimpaan RGA-toimintoon: valvonta-...
INFICON tarjoaa edullisesti hinnoiteltuja ISO-KF-flange-läpäisyjä, joita on käytetty kaikissa standardi tyhjösovelluksissa ympäri maailmaa jo monien v...
INFICON Gemini Inverted Magnetron -tyhjömittari on työjuhta kaikissa tyhjömittaus sovelluksissa (odottaa). Gemini yhdistää kaksi anturijärjestelmää yh...