...Modulaarinen Wafer-käsittelyjärjestelmä helpottaa kaikkia waferien käsittelyprosesseja. Kuormaus ja purku, kuljetus, tarttuminen, tarkastus, luokittelu ja erottelu voidaan toteuttaa yhdessä järjestelmässä.
Wafer pidetään etäällä koko modulaarisessa järjestelmässä ultraääniteknologian avulla, jotta mikro-naarmuja ja saastumista ei tapahdu.
Modulaarisen Wafer-käsittelyjärjestelmän ominaisuudet:
- Modulaarinen muotoilu
- Kontaktiton kuljetus
- Räätälöitävissä asiakkaan spesifikaatioiden mukaan
- Useiden prosessien yhdistäminen yhdeksi järjestelmäksi...