LeviWafer-Gripper

LeviWafer-Gripper -kuljetusjärjestelmän avulla on mahdollista nostaa ja kuljettaa herkkiä wafer-levyjä kosketuksetta. Kuljetuksen lisäksi myös pinojen ja kasettien (purku)kuormaus on mahdollista. Gripper käyttää ultraäänilaakeriteknologiaa pitääkseen wafer-levyn etäällä, mikä mahdollistaa kosketuksettoman kuljetuksen. Mikro-naarmujen ja -halkeamien lisäksi hiukkasten aiheuttama saastuminen vältetään, koska ilmanpaineen puuttuessa ei synny ilman turbulenssia. Siksi gripper sopii myös puhdastiloihin. LeviWafer-Gripper voidaan suunnitella joko yksinkertaisella tai kaksoispaddlella. LeviWafer-Gripperin ominaisuudet: - Kosketukseton nostaminen - Ei mikro-naarmuja, mikro-halkeamia tai hiukkasia - Sopii standardikasetteihin - Alhainen energiankulutus - Räätälöitävissä asiakasspesifikaatioiden mukaan