...Modulaarinen Waferhandling-järjestelmä mahdollistaa kaikki mahdolliset waferien käsittelyprosessit. Kuormaus ja purku, kuljetus, tarttuminen, tarkastus, lajittelu ja yksittäistely voidaan toteuttaa yhdessä järjestelmässä.
Ultrasoninen Suspensioteknologiamme pitää waferin etäällä koko ajan ja estää siten mikro-naarmuja ja saastumista.
Modulaarisen Waferhandling-järjestelmän ominaisuudet:
- Modulaarinen rakenne
- Kosketukseton kuljetus
- Mukautettavissa asiakkaan vaatimusten mukaan
- Eri prosessien yhdistäminen yhteen järjestelmään...